Cảm Biến Đếm Tiểu Phân Chất Lỏng LiQuilaz® E15P: Đo Hóa Chất Bán Dẫn Và Dung Môi Hữu Cơ

Trong các ngành công nghiệp sản xuất chất bán dẫn, vi mạch điện tử, pin lithium cao cấp và hóa dược phẩm tổng hợp, việc kiểm soát hạt tiểu phân trong các dung môi hữu cơ và hóa chất ăn mòn cực mạnh là thách thức kỹ thuật rất lớn. Cảm biến quang học LiQuilaz® II E15P của hãng Particle Measuring Systems (PMS – Hoa Kỳ) được chế tạo với toàn bộ đường dẫn mẫu bằng vật liệu trơ đặc biệt (Sapphire, Teflon, Kalrez), mang lại độ nhạy vượt trội từ 1.5 đến 125.0 µm cùng khả năng kiểm tra 100% thể tích mẫu trong các môi trường hóa chất khắc nghiệt nhất.

Đặc Điểm Kỹ Thuật Độc Bản Của LiQuilaz® E15P

• Vật liệu tiếp xúc trơ hóa chất cao cấp: Buồng soi quang học chế tạo từ đá Sapphire đơn tinh thể kết hợp vòng đệm Kalrez® 4079 và thân dẫn Kel-F® / Teflon®, trơ tuyệt đối trước các axit đặc, kiềm mạnh và dung môi hữu cơ tinh khiết.
• Độ nhạy bắt đầu từ 1.5 µm: Dải kích thước đo rộng 1.5 – 125 µm giúp phát hiện sớm các tạp nhiễm hạt vi mô trong các hóa chất tinh khiết siêu cao cấp (Electronic Grade / SEMI Standards).
• Phương pháp kiểm tra 100% thể tích: Không dùng phương pháp chia tỷ lệ ước tính; 100% lưu lượng chất lỏng chảy qua buồng soi đều được phân tích, bảo đảm tính xác thực cao nhất.
• Tích hợp hệ thống lấy mẫu áp lực CLS-700T hoặc bơm xilanh: Vận hành linh hoạt trong phòng thí nghiệm hoặc lắp đặt trực tiếp trên đường ống cấp hóa chất inline.

Cảnh Báo An Toàn Khi Thao Tác Với Dung Môi Hữu Cơ & Hóa Chất Ăn Mòn

1. Chống cháy nổ và tương thích vật liệu ống dẫn: Khi đo các dung môi dễ bay hơi và dễ cháy (như IPA, Toluen, Axeton), toàn bộ hệ thống ống dẫn mẫu phải sử dụng ống Teflon dẫn điện nối đất chống tĩnh điện và vận hành trong tủ hút chuyên dụng (Fume Hood).

2. Tráng rửa dung môi trung gian: Khi chuyển từ dung dịch nước sang dung môi hữu cơ (hoặc ngược lại), bắt buộc phải tráng rửa chuyển tiếp bằng cồn Isopropanol (IPA) tinh khiết trước khi nạp dung môi mới, tránh hiện tượng tách lớp hoặc đục dung dịch làm sai lệch tín hiệu quang học.

1. LiQuilaz E15P có đo được axit flohydric (HF) không?

Nhờ sử dụng buồng soi bằng đá Sapphire đơn tinh thể và gioăng Kalrez trơ, LiQuilaz E15P có khả năng chống chịu tốt với dung dịch chứa HF ở nồng độ cho phép trong ngành sản xuất linh kiện bán dẫn (khác với buồng thủy tinh thạch anh sẽ bị HF ăn mòn ngay lập tức).

2. Tại sao độ nhạy 1.5 µm lại quan trọng đối với ngành hóa chất bán dẫn?

Trong các quy trình quang khắc vi mạch (Lithography) và sản xuất wafer bán dẫn, các hạt tiểu phân kích thước 1.5 – 2.0 µm trong hóa chất rửa có thể làm chập các đường mạch siêu nhỏ, gây hỏng toàn bộ chip bán dẫn. Do đó, độ nhạy 1.5 µm là ngưỡng tiêu chuẩn tối thiểu cần kiểm soát.

3. LiQuilaz E15P có dùng được trong nhà máy Dược phẩm không?

Hoàn toàn được. Trong ngành Dược, LiQuilaz E15P được sử dụng đặc biệt hiệu quả khi kiểm tra độ sạch tiểu phân của các dung môi hữu cơ dùng trong tổng hợp hoạt chất API, tá dược dầu hoặc các công đoạn rửa thiết bị bằng dung môi đặc biệt.

4. Hiệu chuẩn cảm biến LiQuilaz E15P được thực hiện bằng hóa chất gì?

Cảm biến được hiệu chuẩn với các hạt chuẩn nhựa Polystyrene Latex (PSL) phân tán trong nước siêu tinh khiết hoặc trong dung môi tương thích đạt chuẩn truy nguyên NIST tại Trung tâm dịch vụ ủy quyền Sao Nam.

5. Sao Nam có cung cấp giải pháp giám sát hóa chất inline không?

Có. Sao Nam cung cấp trọn gói cảm biến LiQuilaz E15P, hệ thống van điều áp hóa chất, tủ điều khiển công nghiệp và phần mềm Facility Net để giám sát liên tục chất lượng hóa chất trên các đường ống cấp tự động của nhà máy.

Tư Vấn Giải Pháp Đếm Tiểu Phân Hóa Chất LiQuilaz® E15P Chính Hãng

CÔNG TY TNHH TM DV KỸ THUẬT SAO NAM – Đại diện ủy quyền chính thức của PARTICLE MEASURING SYSTEMS (PMS) tại Việt Nam.

LiQuilaz® II E15P Optical Liquid Particle Sensor – Chemical and Solvent Particle Monitoring from 1.5 to 125 µm

The LiQuilaz® II E15P optical liquid particle sensor by Particle Measuring Systems (PMS) is engineered specifically for particle contamination monitoring in aggressive chemicals, semiconductor wet-etch solutions, and high-purity organic solvents.

Featuring an inert wetted path comprised of a single-crystal Sapphire flow cell, Kel-F®, Kalrez® 4079, and Teflon® (PTFE), the LiQuilaz E15P offers superior resistance against strong inorganic acids, bases, and volatile solvents while delivering 100% volumetric inspection from 1.5 µm to 125.0 µm.

Key Engineering Capabilities:

• High Sensitivity: Sizing detection starting at 1.5 µm across up to 16 user-programmable channels, compliant with SEMI standards.
• 100% Volumetric Sampling: Analyzes 100% of the sample stream at 20 mL/min, ensuring absolute statistical confidence without data extrapolation.
• Chemical Sampler Integration: Functions seamlessly with the CLS-700T corrosive liquid sampler or within inline chemical distribution systems via RS-485 / Ethernet Modbus protocols.
• Authorized Service Center: Distributed, calibrated with NIST-traceable PSL standards, and serviced in Vietnam by Sao Nam.